多階層のディレクトリを作成するには親ディレクトリから１つずつ作成していきます。
しかしこれでは面倒なので、ForceDirectories 関数を使って一発で作成することができます。
また、APIを使っても一発で作成することができます。
ForceDirectories は Delphi のヘルプに解説があるので、以下では API を使用する方法を解説します。

使用するAPIは、「MakeSureDirectoryPathExists」です。
この API と ForceDirectories との違いとしては、ForceDirectories は作成したいディレクトリを引数に指定するのに対し、 MakeSureDirectoryPathExists はファイル名を指定します。ディレクトリ名を指定したい場合は末尾に「\」を付けて渡す必要があります。

このAPIを使用するには以下の定義が必要です。

interface
  function MakeSureDirectoryPathExists(DirPath: LPCSTR): Bool; stdcall;
implementation
  function MakeSureDirectoryPathExists; external 'IMAGEHLP.DLL' name 'MakeSureDirectoryPathExists';

DirPath にはファイル名を指定します。 パスの最後のコンポーネントがファイル名ではなくディレクトリである場合、文字列の最後に円記号（\）を記述しなければなりません。 このAPIは失敗すると False を返します。 こんな感じになります

procedure TForm1.Button1Click(Sender: TObject);
begin
  if not MakeSureDirectoryPathExists(PChar('c:temp')) then
    raise Exception.Create('Cannot create c:temp');
end;

補足

1. 設定可能なファイル名の長さは200-260文字程度みたいです。
2. APIなので String を PWideChar または PChar で型キャストする必要があります。

参照

1. Microsoft Developer Network Library

2015.11.20 MSDNのリンク先が変更になっていたので修正